高桥克典:要注重工艺气体排放对生态环境的影响

11月23日上午,首届世界显示产业大会“OLED产业发展分论坛”在合肥召开。论坛由中国光学光电子行业协会液晶分会、中国OLED产业联盟、国际半导体产业协会承办,由赛迪智库集成电路研究所、合肥平板显示产业创新战略联盟提供支持。论坛以“开放合作,共创共赢”为主题,聚焦OLED发展关键话题,剖析OLED产业发展中面临的挑战,挖掘OLED产业未来机遇,推动新型显示产业健康、有序、可持续发展。埃地沃兹贸易(上海)有限公司亚洲Turnkey应用总经理高桥克典出席论坛并发表演讲。

显示屏生产带来的工艺气体对环境造成很大影响,如果减排和设施设备选择不当或操作不当,则可能向空气中释放毒物NOx、HCN、NH4F、HF on silica、Cl2、COF2、COCl2以及全球变暖气体CF4、SF6、N2O、COF2;向水中释放NaF、NH4Cl、SO2F2、Al2O3、CaF2 CaSO4、Ca2B2O5、CaCO3、Ca(OH)2、SiO2等。解决方案就是确保对泵排气管进行加热以避免堵塞,并采用耐腐蚀材料制造,在确保NF3、N2O、NH3高DRE的同时,尽量减少氮氧化物的产生;确保CF4和SF6和任何腔室副产品的高DRE;确保有效清除废气中的固体,以避免管道堵塞;确保废水处理厂的固体物质按照当地法规进行管理。

中国有着广泛的环境法规,包括水污染、空气污染和土壤污染领域,规定了浓度限值(mg/m3)和质量释放限值(kg/h),如果释放超过质量释放极限,则无法稀释空气源以降低质量释放速率。一些法规还规定了特定行业的限制,到目前为止,最近为电子行业提出的有关空气污染物排放的法规仍在讨论中,尚未发布。

2017年7月28日,环保部(MEP)、后来的生态环境部(MEE)发布了《固定污染源排放许可证分类管理目录(2017年版)》,指出,到2020年,将对78个行业和4个一般流程实施污染物排放许可管理。FPD产业包括在序列69中,在2019年到2020年之间需要发放许可证,污染物排放主体将根据生产、排放污染物总量和环境破坏程度,分为重点管理主体和简化管理主体。

版权声明:aysz01 发表于 2023-05-25 22:41:37。
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